特許
J-GLOBAL ID：200903071140139220

処理装置の運転方法及び処理装置の異常検出方法

発明者：
仙洞田 剛士

仙洞田 剛士 について

, 
坂野 真治

坂野 真治 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-201731
公開番号（公開出願番号）：特開2002-018274
出願日： 2000年07月04日
公開日（公表日）： 2002年01月22日
要約：
【要約】【課題】 従来は処理装置の高周波電源や処理室内が安定したか否かを客観的に判断する手法がなく、安定化したか否かはオペレータの経験と勘に頼らざるを得ない。【解決手段】 本発明の消耗品の消耗度予測方法は、安定化した処理装置10の高周波電源18の測定データを用いて予め基準用の残差得点Q0を求める工程と、始動直後から任意の処理装置10の複数の電気的データを測定する工程と、複数の測定データを用いて比較用残差得点Qを求める工程と、これら両者Q、Q0を比較して両者の差(Q-Q0)から任意の処理装置10の高周波電源18の安定状態を検出する工程とを有することを特徴とするものである。
請求項（抜粋）：
高周波電源から処理室内の電極に高周波電力を印加してプラズマを発生させて被処理体を処理する際に、上記処理室内の状態に応じて変化する上記高周波電源の複数の電気的データを測定する測定器で測定された複数の測定データを用いて多変量解析を行って上記高周波電源の印加状態を検出して処理装置を運転する方法であって、処理装置の処理室内の状態に応じて上記高周波電源の印加状態が安定化した時の上記測定データを用いて予め基準用の多変量解析を行う工程と、始動直後から任意の処理装置の複数の電気的データを測定する工程と、複数の測定データを用いて比較用の多変量解析を行う工程と、比較多変量解析結果と基準多変量解析結果を比較して両者の差から上記任意の処理装置の上記高周波電源が上記処理室内の状態に応じて安定状態に達したことを検出する工程とを有することを特徴とする処理装置の運転方法。
IPC (6件)：
B01J 19/08 ,  C23C 16/509 ,  C23C 16/52 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065 ,  H05H 1/46
FI (6件)：
B01J 19/08 E ,  C23C 16/509 ,  C23C 16/52 ,  H01L 21/205 ,  H05H 1/46 A ,  H01L 21/302 C
Fターム (54件)：
4G075AA24 ,  4G075AA30 ,  4G075AA41 ,  4G075AA51 ,  4G075AA61 ,  4G075AA65 ,  4G075BC06 ,  4G075CA14 ,  4G075CA25 ,  4G075CA43 ,  4G075CA62 ,  4G075CA65 ,  4G075DA04 ,  4G075DA11 ,  4G075DA18 ,  4G075EB01 ,  4G075EB42 ,  4G075EC21 ,  4G075ED08 ,  4G075FB02 ,  4G075FC11 ,  4K030FA03 ,  4K030HA11 ,  4K030JA14 ,  4K030JA17 ,  4K030JA18 ,  4K030KA02 ,  4K030KA39 ,  4K030KA41 ,  5F004AA01 ,  5F004AA09 ,  5F004BA08 ,  5F004BB11 ,  5F004BB13 ,  5F004BD04 ,  5F004CA02 ,  5F004CA03 ,  5F004CA08 ,  5F004CB07 ,  5F004DA00 ,  5F004DA23 ,  5F004DA26 ,  5F045AA08 ,  5F045BB02 ,  5F045BB03 ,  5F045BB10 ,  5F045BB20 ,  5F045DP03 ,  5F045DQ10 ,  5F045EB02 ,  5F045EH14 ,  5F045EH16 ,  5F045GB08 ,  5F045GB16
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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