特許
J-GLOBAL ID：200903040240821424
流量測定方法および流量測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 憲秋 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-098990
公開番号（公開出願番号）：特開2000-292227
出願日： 1999年04月06日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
要約：
【要約】【課題】 超純水や薬液の測定に最適に使用できるとともに、流体の供給圧力に変動がある場合においても正確な測定を行うことができる流量測定方法および流量測定装置を提供する。【解決手段】 チャンバ20を有するボディ本体11と前記チャンバ内の流体の圧力を調整するための調圧手段Mとを備えた圧力制御弁10によって流体の圧力を制御し、前記チャンバの調圧手段より下流側に絞り部80を設け、該絞り部の下流側における流体の圧力を検知して該流体の圧力と前記調圧手段の調圧圧力との差圧を算出して、流体の流量を測定する。
請求項（抜粋）：
内部にチャンバを有するボディ本体と前記チャンバ内の流体の圧力を調整するための調圧手段とを備えた圧力制御弁によって流体の圧力を制御し、前記チャンバの調圧手段より下流側に絞り部を設け、該絞り部の下流側における流体の圧力を検知して該流体の圧力と前記調圧手段の調圧圧力との差圧を算出して、圧力制御された流体の流量を測定することを特徴とする流量測定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (20件)：
2F030CA04
, 2F030CC01
, 2F030CE04
, 2F030CE21
, 2F030CF05
, 2F030CF11
, 2F030CH05
, 5H316AA15
, 5H316AA20
, 5H316BB01
, 5H316EE02
, 5H316EE10
, 5H316EE12
, 5H316FF02
, 5H316FF06
, 5H316FF12
, 5H316GG20
, 5H316JJ09
, 5H316JJ13
, 5H316KK02
出願人引用 (2件)
-
特開平4-096808
-
流量コントロールバルブ
公報種別：公開公報
出願番号：特願平9-264935
出願人：アドバンス電気工業株式会社
審査官引用 (2件)
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特開平4-096808
-
流量コントロールバルブ
公報種別：公開公報
出願番号：特願平9-264935
出願人：アドバンス電気工業株式会社
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