特許

J-GLOBAL ID：200903048408903929

流量コントロールバルブ

発明者： 松沢 広宣
出願人/特許権者： アドバンス電気工業株式会社
代理人 (1件)： 後藤 憲秋 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-264935
公開番号（公開出願番号）：特開平11-085287
出願日： 1997年09月10日
公開日（公表日）： 1999年03月30日
要約：

【要約】【課題】 一次側の圧力変動のみならず、二次側における負荷変動に対しても、瞬時に追従してその流量を一定に保つことができる新規な流量コントロールバルブを提供する。【解決手段】 第一加圧室21および第二加圧室35は、それぞれ弁機構体40の第一ダイヤフラム部50および第三ダイヤフラム部70に対して常時内向きの一定の圧力を加える手段を備え、弁室25は、弁機構体40の弁部41の変動によって弁座との間の開口量が変化して前記流入チャンバ27から流出チャンバ28へ流通する被制御流体の流量が制御される流通制御部30を有し、差圧室33は、前記流出チャンバ28と連通自在に構成されかつ前記流出流路13と連通するバイパス流路18のバイパス開口18を有する。

請求項（抜粋）：

被制御流体の流入流路およびその流出流路が形成されたボディ本体と、前記被制御流体の流入流路の流入開口および流出流路の流出開口が形成されたチャンバと、弁部、第一ダイヤフラム部、第二ダイヤフラム部および前記第二ダイヤフラム部のダイヤフラム有効断面積より小さいダイヤフラム有効断面積を有する第三ダイヤフラム部を備え、前記各ダイヤフラム部の外周部が前記ボディ本体に固定されて前記チャンバ内に取り付けられ、かつ前記各ダイヤフラム部によって前記チャンバを順に第一加圧室、弁室、差圧室および第二加圧室に区分する弁機構体を含み、前記第一加圧室は、前記第一ダイヤフラム部に対して常時内向きの一定の力を加える手段を備え、前記弁室は、前記弁機構体の弁部に対応する弁座を備え、該弁座に対して前記第一ダイヤフラム側が前記被制御流体の流入開口を有する流入チャンバ、前記第二ダイヤフラム側が前記被制御流体の流出開口を有する流出チャンバとして構成され、前記弁部の変動によって前記弁座との間の開口量が変化して前記流入チャンバから流出チャンバへ流通する被制御流体の流量が制御される流通制御部を有し、前記差圧室は、前記第二ダイヤフラム部に形成された連通部によって前記弁室の流出チャンバと連通自在に構成され、かつ前記流出流路と連通するバイパス流路のバイパス開口を有し、前記第二加圧室は、前記第三ダイヤフラム部に対して常時内向きの一定の力を加える手段を備えていることを特徴とする流量コントロールバルブ。

IPC (2件)：

G05D 7/01 ,  F16K 7/17

FI (2件)：

G05D 7/01 A ,  F16K 7/17 B

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 流体コントロールバルブ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-106056   出願人：アドバンス電気工業株式会社
• 精密圧力制御弁
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-165350   出願人：ガスミックス工業株式会社
• 薬液供給装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-179450   出願人：シーケーディ株式会社