特許

J-GLOBAL ID：200903040249156857

静電チャック部材

発明者： 原田 良夫 ,  竹内 純一 ,  山崎 良 ,  伊藤 陽一
出願人/特許権者： トーカロ株式会社 ,  株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 順三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-310892
公開番号（公開出願番号）：特開平10-154596
出願日： 1996年11月21日
公開日（公表日）： 1998年06月09日
要約：

【要約】【課題】固有抵抗値の温度依存性が小さく、広い温度範囲にわたって適用できる静電チャック部材を提供する。【解決手段】金属基板1上に、金属アンダーコート2、Al2O3 -NiOセラミックスオーバーコート3からなる絶縁膜を積層してなるもの、あるいはそのオーバーコートの上にさらに必要に応じて保護用セラミックストップコート4を積層した絶縁層を有する静電チャック用部材。

請求項（抜粋）：

金属もしくは炭素基板上に、金属アンダーコートと、その上に積層した Al2O3-NiOセラミックスオーバーコートとからなる絶縁膜を有することを特徴とする静電チャック部材。

IPC (3件)：

H05F 7/00 ,  C23C 4/08 ,  C23C 28/00

FI (3件)：

H05F 7/00 ,  C23C 4/08 ,  C23C 28/00 B

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 静電チャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-258148   出願人：京セラ株式会社