特許

J-GLOBAL ID：200903040274948202

異物検出方法、異物検出装置、および液滴吐出装置

発明者： 稲垣 顯
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (2件)： 上柳 雅誉 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-290811
公開番号（公開出願番号）：特開2008-107217
出願日： 2006年10月26日
公開日（公表日）： 2008年05月08日
要約：

【課題】液滴吐出装置のステージ上、またはワーク上の異物の有無を検出することができる異物検出方法、異物検出装置、および液滴吐出装置を提供すること。【解決手段】異物検出方法は、光源14から射出された光束22が、面11aに対して垂直であるとともに互いに平行で、かつ対向する2つの反射面12a,13aの間で反射を繰り返しながら、面11aにほぼ平行に伝播し、面11aの少なくとも一部を覆うステップAと、光束22を受光するステップBと、受光された光束22の強度に基づいて、面11aの少なくとも一部上での異物の有無を判定するステップCと、を含んでいる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光源から射出された光束が、対象面に対して垂直であるとともに互いに平行で、かつ対向する2つの反射面の間で反射を繰り返しながら、前記対象面にほぼ平行に前記対象面上の所定の高さを伝播し、前記対象面の少なくとも一部を覆うステップAと、 前記光束を受光するステップBと、 前記受光された前記光束の強度に基づいて、前記少なくとも一部上での異物の有無を判定するステップCと、 を含むことを特徴とする異物検出方法。

IPC (3件)：

G01N 21/88 ,  B05C 5/00 ,  B05C 11/00

FI (3件)：

G01N21/88 Z ,  B05C5/00 101 ,  B05C11/00

Fターム (16件)：

2G051AA41 ,  2G051AA42 ,  2G051AB01 ,  2G051BA10 ,  2G051BB01 ,  2G051BB11 ,  2G051CA01 ,  2G051CB02 ,  2G051EA16 ,  4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041BA13 ,  4F041BA38 ,  4F042AA06 ,  4F042BA08 ,  4F042DH09

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-075324   出願人：セイコーエプソン株式会社