特許
J-GLOBAL ID:200903040375733606

湿度センサ用感湿素子

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 石田 敬 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-032924
公開番号(公開出願番号):特開2003-232765
出願日: 2002年02月08日
公開日(公表日): 2003年08月22日
要約:
【要約】【課題】 初期特性および高温高湿放置後の変動特性に優れた、高感度湿度センサを提供する。【解決手段】 ジアミン側に少なくとも4つのベンゼン環を有するポリイミドを感湿膜とする感湿素子を用いて湿度センサを得る。好適には、ジアミン側に少なくとも4つのベンゼン環と少なくとも1つのスルホニル基を有するポリイミドを感湿膜とする感湿素子、ジアミン側に少なくとも4つのベンゼン環と少なくとも1つのポリフルオロアルキル基を有するポリイミドを感湿膜とする感湿素子、ならびにこれらのポリイミドの前駆体であるポリアミド酸を末端アセチレンで終端し、これを脱水閉環させて得られるポリイミドを感湿膜とする感湿素子から選びうる。
請求項(抜粋):
ジアミン側に少なくとも4つのベンゼン環を有するポリイミドを感湿膜とする感湿素子。
IPC (2件):
G01N 27/22 ,  G01N 27/12
FI (2件):
G01N 27/22 A ,  G01N 27/12 K
Fターム (23件):
2G046AA09 ,  2G046BA01 ,  2G046BA09 ,  2G046BB02 ,  2G046BC04 ,  2G046BC05 ,  2G046DC13 ,  2G046EA04 ,  2G046EA09 ,  2G046FA01 ,  2G046FE00 ,  2G060AA01 ,  2G060AB02 ,  2G060AE19 ,  2G060AF03 ,  2G060AF10 ,  2G060AG11 ,  2G060BA09 ,  2G060BB10 ,  2G060HA02 ,  2G060HB06 ,  2G060HC06 ,  2G060JA02
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • 静電容量型湿度センサー
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2001-076988   出願人:三井化学株式会社
  • 特開平4-265850
  • 特開平4-319434
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