特許

J-GLOBAL ID：200903040379858381

インクジェット記録ヘッド及びその製造方法

発明者： 梅原 茂
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 稲垣 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-081064
公開番号（公開出願番号）：特開2000-272128
出願日： 1999年03月25日
公開日（公表日）： 2000年10月03日
要約：

【要約】【課題】 インク流における淀み等の発生を解消し、良好なインク吐出動作及び高品位な階調表現が得られるものでありながらも、積層する薄板部品間における連結時の積層アライメント精度等を緩和できるインクジェット記録ヘッドを提供する。【解決手段】 チャンバプレート16に備えた貫通穴と該チャンバプレート16を挟む2枚の板(23、30)とから構成される圧力室19を備えるインクジェット記録ヘッド55の製造方法では、前記貫通穴を形成する工程が、略同形状を有し圧力室19におけるインクの流れ方向Iに長さが異なる第1及び第2レジスト膜17、18をチャンバプレート16の第1面及び第2面に夫々形成する工程と、第1及び第2レジスト膜17、18をマスクとしてチャンバプレート16の第1面及び第2面をエッチングして第1面及び第2面を貫通する工程とを含む。

請求項（抜粋）：

プレートに備えた貫通穴と該プレートを挟む2枚の板とから構成される圧力室を備えるインクジェット記録ヘッドの製造方法において、前記貫通穴を形成する工程が、略同形状を有し前記圧力室におけるインクの流れ方向に長さが異なる第1及び第2レジスト膜を前記プレートの第1面及び第2面に夫々形成する工程と、前記第1及び第2レジスト膜をマスクとして前記プレートの第1面及び第2面をエッチングして前記第1面及び第2面を貫通する工程とを含むことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。

IPC (3件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H

Fターム (14件)：

2C057AF24 ,  2C057AF39 ,  2C057AF77 ,  2C057AF91 ,  2C057AF93 ,  2C057AG15 ,  2C057AG48 ,  2C057AP02 ,  2C057AP22 ,  2C057AP31 ,  2C057AP77 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14 ,  2C057CA01

引用特許：

審査官引用 (1件)

• インクジェットヘッド及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-210423   出願人：セイコーエプソン株式会社