特許
J-GLOBAL ID：200903040390615393

機能膜の形成方法

発明者：
吉岡 佐登美

吉岡 佐登美 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 井上 一 ,  布施 行夫 ,  大渕 美千栄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-133442
公開番号（公開出願番号）：特開2005-314741
出願日： 2004年04月28日
公開日（公表日）： 2005年11月10日
要約：
【課題】 基材及び機能膜の密着性を高めることにある。【解決手段】 機能膜の形成方法は、(a)基材10をカップリング処理して、カップリング剤12に由来する第1の膜14を基材10上に形成すること、(b)プラズマ重合処理によって、有機系材料16に由来する第2の膜20を第1の膜14上に形成すること、を含む。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
(a)基材をカップリング処理して、カップリング剤に由来する第1の膜を前記基材上に形成すること、 (b)プラズマ重合処理によって、有機系材料に由来する第2の膜を前記第1の膜上に形成すること、 を含む機能膜の形成方法。
IPC (1件)：
C23C14/12
FI (1件)：
C23C14/12
Fターム (9件)：
4K029AA02 ,  4K029AA04 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA62 ,  4K029BD00 ,  4K029CA12 ,  4K029FA05 ,  4K029FA07
引用特許：
出願人引用 (1件)

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