特許

J-GLOBAL ID：200903040405247779

レーザビームスピンナ

発明者： 岸 正雄
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 鎌田 文二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-002768
公開番号（公開出願番号）：特開平8-192286
出願日： 1995年01月11日
公開日（公表日）： 1996年07月30日
要約：

【要約】【目的】 3kw以上の高密度レーザビームに対応でき、ビームのスピニング、スキャニングを最大振幅3mm、振動数150Hz以上で行え、操作性、信頼性、耐久性が良くてコンパクトでもあるレーザビームスピンナの提供。【構成】 放物面鏡2の後方に第1ガルバノメータ7で駆動する第1揺動ミラー3と第2ガルバノメータ8で駆動する第2揺動ミラー4を配置し、制御装置12で第1、第2ガルバノメータ7、8を制御する。揺動軸が直交した第1、第2揺動ミラー3、4の振動の位相差を90°にすると照射ビームがスピンし、その位相差を0°又は180°にするとビームがスキャンする。この構成であれば全てのミラーを水冷できるので高パワーのレーザビームに対する適用が可能であり、また、揺動ミラーの駆動をガルバノメータで行えるのでビームの振幅、振動数の制御を正確に行うことができ、その他の目的も全て達成できる。

請求項（抜粋）：

レーザビームを集束して被加工物に照射し、かつ、被加工物上でビーム集束点を任意にスピン或いはスキャンさせる機能をもった光学系装置であって、下記?@〜?Fの要素で構成されることを特徴とするレーザビームスピンナ。?@ 放物面の中心線を入射レーザ光と平行にして配置する放物面鏡、?A 上記放物面鏡からの反射光を反射して第2揺動ミラーに入射させる第1揺動ミラー、?B 第1揺動ミラーからの反射光を反射して被加工物に当てる第2揺動ミラー、?C 第1揺動ミラーを支持してこれを微小角度で揺動させる第1ガルバノメータ、?D 第2揺動ミラーを支持してこれを第1揺動ミラーの揺動軸に対して直交する軸の回りに微小角度で揺動させる第2ガルバノメータ、?E 第1、第2揺動ミラーを、それ等の背面の出入口に接続した可撓性チューブ経由でミラー内部の水路に冷却水を通して冷却する冷却機構、?F 第1、第2ガルバノメータそれぞれの振幅を独立に連続的に制御し、かつ、その振幅の相互位相差について0°、90°、180°の切り替えを行う制御装置。

IPC (5件)：

B23K 26/06 ,  B23K 26/00 ,  B23K 26/08 ,  G02B 26/10 104 ,  H01S 3/10

引用特許：

審査官引用 (3件)

• レ-ザビ-ムスキャナ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-148822   出願人：住友電気工業株式会社, トヨタ自動車株式会社
• 特開昭58-125390
  
• 特開平2-137688