特許
J-GLOBAL ID：200903040425837270
キャビテーション検出方法及び音響フィルター付き マイクロホン
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 和夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-369301
公開番号（公開出願番号）：特開平11-196493
出願日： 1997年12月30日
公開日（公表日）： 1999年07月21日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、超音波洗浄の際に、容器内の液体にキャビテーションが発生しているかどうかを検出するキャビテーション検出方法及び音響フィルター付きマイクロホンを提供するものである。【構成】 超音波振動子6を底部に装着した容器7に液体8を入れ、この液体8の中に音響フィルター付きマイクロホン5と音響フィルターのないマイクロホン9を挿入して、超音波振動子6より超音波を液体8内に照射すると、超音波による縦波は音響フィルター付きマイクロホン5と音響フィルターのないマイクロホン9にそれぞれ伝達され、音響フィルター付きマイクロホン5で縦波のみが検出され、音響フィルターのないマイクロホン9では、縦波の外に1/2サブハーモニックが検出される。本発明では、キャビテーションにより発生した表面波を2つのマイクロホンの出力により比較して検出するため、キャビテーションを確実に検出することができ、又、音響フィルター付きマイクロホンは表面波の影響を低減することができるので、キャビテーションの検出に非常に有利であるという利点がある。
請求項（抜粋）：
超音波振動子により超音波が照射されている容器内の液体に音響フィルターで被覆した圧電素子と音響フィルターを被覆しない圧電素子を浸漬し、前記音響フィルターを被覆した圧電素子の出力と音響フィルターを被覆しない圧電素子の出力を比較して、出力に差が生じた場合に前記液体内にキャビテーションが発生されていることを検出するキャビテーション検出方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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