特許
J-GLOBAL ID:200903040428506305
マイクロフォーカスX線管及びそれを用いたX線装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
多田 公子
, 宮川 佳三
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-363248
公開番号(公開出願番号):特開2007-165236
出願日: 2005年12月16日
公開日(公表日): 2007年06月28日
要約:
【課題】マイクロフォーカスX線管の許容負荷を増加させる。 【解決手段】 X線管の陰極の電子銃は熱電子を発生するカソード48と、その電子放射面49から放射された熱電子を細いビーム状の電子線18に集束する3個のグリッド電極(G1電極、G2電極、G3電極)52、54、56と、電子線18を静電偏向する2個の偏向電極(H1電極、H2電極)59、60とから成る。H1電極59とH2電極60の間に二等辺三角波の交流電圧が印加されることにより、電子線18は矢印64で示す方向に偏向され、それに伴いターゲット20上に形成される焦点32も同じ方向に移動する。その結果、ターゲット20上の焦点32の実質的な面積が増加するため、X線管の許容負荷を増加させることができる。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
電子を発生するカソードと、電子を細いビーム状の電子線に集束するための複数個の電極から成る電子集束系(以下、電子銃という)と、カソード及び電子銃を絶縁支持する電極絶縁支持部とを有する陰極と、陰極からの電子線が衝突してX線を発生するターゲットを有する陽極と、陰極と陽極を真空気密に封入する外囲器を備え、電子銃の複数個の電極はそれぞれ電子線を通過させるための開口を有し、それぞれの電極にカソードの電位を基準にした電位を印加することにより、電子線を集束するための電子レンズを形成するマイクロフォーカスX線管において、前記電子銃は少なくとも3個の電子線集束のためのグリッド電極と、前記電子線を静電的に偏向するための偏向電極を有することを特徴とするマイクロフォーカスX線管。
IPC (5件):
H01J 35/14
, H01J 35/30
, G21K 5/08
, H05G 1/00
, G01N 23/04
FI (5件):
H01J35/14
, H01J35/30
, G21K5/08 X
, H05G1/00 E
, G01N23/04
Fターム (19件):
2G001AA01
, 2G001BA11
, 2G001CA01
, 2G001GA05
, 2G001HA13
, 2G001JA01
, 2G001JA02
, 2G001JA13
, 2G001SA29
, 2G001SA30
, 4C092AA01
, 4C092AB04
, 4C092AC08
, 4C092BD02
, 4C092BD06
, 4C092BD16
, 4C092BD17
, 4C092BD20
, 4C092CE07
引用特許: