X線管及びそれを用いたX線装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：多田公子 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-123815
公開番号（公開出願番号）：特開2003-317996
出願日： 2002年04月25日
公開日（公表日）： 2003年11月07日
要約：

【要約】【課題】高拡大率撮影の可能なマイクロフォーカスX線管を備えた小型のX線装置を提供する。【解決手段】マイクロフォーカスX線管20を中性点接地方式とし、マイクロフォーカスを形成するために配置された複数のグリッド電極106、108、110に印加するグリッド電圧を高電圧発生回路22の負の高電圧発生部から分圧した電圧を使用してグリッド電圧発生回路24で生成する。グリッド電圧発生回路24は制御部32のグリッド電圧制御部42からの光信号によって制御される。グリッド電圧発生回路24とグリッド電圧制御部42との間は光ケーブル224で接続される。X線管を中性点接地方式にしたことにより、焦点とX線放射窓(外囲器)との間隔を小さくすることができ、高拡大率撮影が可能となる。また、グリッド電圧発生回路に絶縁変圧器の使用が不要となり、X線装置を小型化することができる。

請求項（抜粋）：

電子ビームを放出するカソード電極と前記電子ビームの軌道及び電流量を制御する複数のグリッド電極とを有する陰極と、前記電子ビームの衝突によりX線を発生させるターゲットを有する陽極と、前記陰極と前記陽極とを真空気密に封入し、前記ターゲットで発生したX線を外部に放射するX線放射窓を有する外囲器とから構成され、前記グリッド電極に印加するグリッド電圧の制御により微小焦点を得るX線管において、前記外囲器をアース電位とし、X線管電圧をほぼ二等分し、その負の高電圧が前記陰極のカソード電極に、その正の高電圧が前記陽極に印加されることを特徴とするX線管。

IPC (4件)：

H05G 1/08 , H01J 35/00 , H05G 1/06 , H05G 1/34

FI (4件)：

H05G 1/08 Z , H01J 35/00 Z , H05G 1/06 , H05G 1/34 H

Fターム (7件)：

4C092AA01 , 4C092AB27 , 4C092AC01 , 4C092AC08 , 4C092AC09 , 4C092BD06 , 4C092CD02

引用特許：

審査官引用 (5件)

X線検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-169866 出願人：浜松ホトニクス株式会社
特開平4-144045
X線発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-228518 出願人：東芝エフエーシステムエンジニアリング株式会社

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