ガス純化方法及びガス純化装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：四宮通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-087439
公開番号（公開出願番号）：特開平9-248417
出願日： 1996年03月15日
公開日（公表日）： 1997年09月22日
要約：

【要約】【課題】不純物を十分に除去した超高純度ガスを得る。【解決手段】ガス導入パイプ14に流入した窒素ガスは、排出孔5及び排出パイプ15の内部からなる第1の流出路と排出孔4の部分4”及び排出パイプ16からなる第2の流出路とにより分流されて、排出パイプ15,16からそれぞれ流出される。窒素ガスは、放電室3で放電針8と対向電極9と間で発生するコロナ放電により一次イオン化され、引き続き二次イオン化され、窒素ガス中の酸素等の不純物が正イオン化される。正イオン化された酸素等の不純物は、正電極17により斥力を受けるとともに負電極22により引力を受け、主として排出パイプ16から流出し、排出パイプ15からはほとんど流出しない。これにより、不純物が除去された超高純度の窒素ガスが排出パイプ15から得られる。

請求項（抜粋）：

ガスが通流する流路内で主成分ガスイオンと不純物ガス分子とを衝突させ不純物ガス分子をイオン化させるイオン分子反応により、不純物成分をイオン化し、当該不純物ガスイオンに電極手段にて力を作用させて主成分ガス中から当該不純物イオンの少なくとも一部を分離し、主成分ガスの純度を高めることを特徴とするガス純化方法。

IPC (2件)：

B01D 53/32 , B03C 9/00

FI (2件)：

B01D 53/32 , B03C 9/00

引用特許：

審査官引用 (12件)

ガス純化装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-255074 出願人：株式会社日立製作所
特開平4-244213
特開昭62-244421

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