特許
J-GLOBAL ID:200903040522780828

角度調整テーブル装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 尾仲 一宗
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-145919
公開番号(公開出願番号):特開2002-341076
出願日: 2001年05月16日
公開日(公表日): 2002年11月27日
要約:
【要約】【課題】 この角度調整テーブル装置は,物体を微小な角度で高精度に回転位置決めし,高さ寸法を低く構成して装置自体をコンパクトに構成する。【解決手段】 この角度調整テーブル装置は,ベツド1にクロスローラベアリング15を介してテーブル2を回転支持し,駆動装置3によってテーブル2に設けたアーム4を介してテーブル2を微小角度回転駆動させる。モータ8の駆動によって生じるねじ装置10によるテーブル接線方向の変位は,ベッド1と移動台5との間に介在した接線方向の移動をガイドする第1直動案内ユニット6,移動台5と回転台25との間に介在した軸受30,回転台25とアーム4との間に介在したテーブル回転中心方向の移動をガイドする第2直動案内ユニット7によってテーブル2の回転方向の変位として伝達される。
請求項(抜粋):
板状のベッド,前記ベッドに第1軸受を介して回転支持されたテーブル,前記テーブルの外周部から突出して設けられた板状のアーム,及び前記アームを介して前記テーブルを微小角度回転駆動させる前記ベッドの側面に配設された駆動装置を有し,前記駆動装置は,前記ベッドの前記側面に固定されたモータブラケットに設けられたモータ,前記ベッドの前記側面の長手方向に沿って延び且つ前記モータの回転軸に連結されたねじ軸,前記ねじ軸に螺合し且つ前記ねじ軸の回転に伴って前記ねじ軸に沿って移動するナット,前記ベッドの前記側面の前記長手方向に沿って配設された第1軌道レールと前記第1軌道レールに沿って移動自在な第1スライダとから成る第1直動案内ユニット,前記第1スライダに固着され前記ナットを固着した移動台,及び前記移動台と前記アームとを回転可能で直線移動可能に結合する連結装置,から構成されていることから成る角度調整テーブル装置。
IPC (5件):
G12B 5/00 ,  B23Q 1/48 ,  F16C 19/36 ,  F16C 33/58 ,  H01L 21/68
FI (5件):
G12B 5/00 T ,  F16C 19/36 ,  F16C 33/58 ,  H01L 21/68 K ,  B23Q 1/16
Fターム (28件):
2F078CA01 ,  2F078CB12 ,  3C048BB12 ,  3C048BB20 ,  3C048CC04 ,  3C048DD22 ,  3C048EE11 ,  3J101AA26 ,  3J101AA42 ,  3J101AA54 ,  3J101BA53 ,  3J101BA54 ,  3J101BA55 ,  3J101BA77 ,  3J101FA41 ,  3J101FA53 ,  3J101GA31 ,  3J101GA32 ,  3J101GA55 ,  5F031CA02 ,  5F031CA04 ,  5F031HA53 ,  5F031HA59 ,  5F031KA08 ,  5F031LA01 ,  5F031LA07 ,  5F031LA12 ,  5F031PA30
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • 位置決め装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平5-331617   出願人:シャープ株式会社
  • ワーク搭載用テーブルのθ軸調整機構
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平11-047452   出願人:ティーディーケイ株式会社
  • 移動テーブル装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平10-105181   出願人:テイエチケー株式会社
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