特許

J-GLOBAL ID：200903040542570129

セルフアライメント型光学サブアセンブリ製作方法

発明者： ミンドーガス ファーナンド ドータータス ,  イー-フェン ウォン
出願人/特許権者： エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション
代理人 (1件)： 岡部 正夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-120461
公開番号（公開出願番号）：特開平7-168044
出願日： 1994年06月02日
公開日（公表日）： 1995年07月04日
要約：

【要約】【目的】 光ファイバ及び関連光学素子を支持するためのセルフアライメント型光学サブアセンブリの形成方法が開示される。【構成】 シーケンシャルなマスキング層/シリコン基板エッチング工程が、最初に最大の穴と最後に最も幅の狭い穴を連続してエッチングするために実行される。この手順に従うことにより、縦一列の溝間の軸方向のアライメントが維持される。

請求項（抜粋）：

光ファイバと関連光学素子間の受動的な光学的アライメントを提供するためにファイバ支持基板を形成する方法であって、a)上部主表面を含むシリコン基板を用意する工程と、b)前記シリコン基板の上部主表面にマスキング層を形成する工程とからなる方法において、さらに、c)前記光ファイバと前記関連光学素子の配置と関連した、前記マスキング層の異なる領域が、異なる厚さからなるように前記マスキング層を描画する工程と、d)前記シリコン基板の下にある表面が最初に露出されるまで前記マスキング像をエッチングする工程と、e)前記露出したシリコン基板を予め決められた深さまでエッチングする工程と、f)前記光ファイバ及び前記関連光学素子を支持するのに必要な全ての穴が形成されるまで工程d)及びe)を繰返す工程を含むことを特徴とする方法。

IPC (2件)：

G02B 6/13 ,  G02B 6/42

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 光学組立体とその形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-251896   出願人：アメリカンテレフォンアンドテレグラフカムパニー
• 特開平4-270307
  
• 特開平2-211406