特許
J-GLOBAL ID：200903040545876326

紫外線照射装置

発明者：
今井 満

今井 満 について


出願人/特許権者：
株式会社荏原製作所

株式会社荏原製作所 について


代理人 (2件)： 熊谷 隆 ,  高木 裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-340775
公開番号（公開出願番号）：特開2006-082085
出願日： 2005年11月25日
公開日（公表日）： 2006年03月30日
要約：
【課題】中圧紫外線ランプの力率を改善(0.955〜0.960)し、省エネルギーで安定した処理液の処理が可能な紫外線照射装置を提供すること。【解決手段】紫外線モニタ装置4で検出された現在の紫外線照射強度値をI0、紫外線モニタ装置4の紫外線測定ヘッドの先端と保護管10の間隔を反射紫外線等の外来ノイズを排除できる所定距離に設定した場合の現在の処理液の透過率をT10、該紫外線モニタ装置4設定時の処理液の透過率をT10’とした場合、下記の式を用いて現在の紫外線照射強度値I0を透過率で補正した紫外線照射強度値IORを求め、該紫外線照射強度値IORと紫外線照射強度値I0を比較することにより、中圧紫外線ランプ9の劣化、紫外線モニタ装置4の紫外線測定ヘッド又は保護管の汚染を検出する検出手段を設けた。 IOR=I0×T10’/T10【選択図】図1
請求項（抜粋）：
処理槽内に外周を保護管で保護された中圧紫外線ランプを配置し、該処理槽内に流入する処理液に該中圧紫外線ランプから紫外線を照射し、処理液を処理する紫外線照射装置において、 前記処理槽内に流入する処理液の透過率を検出する透過率検出手段を設け、 前記中圧紫外線ランプから照射される紫外線照射強度をモニタする紫外線モニタ装置を設け、 前記紫外線モニタ装置で検出された現在の紫外線照射強度値をI0、前記紫外線モニタ装置の紫外線測定ヘッドの先端と前記保護管の間隔を反射紫外線等の外来ノイズを排除できる所定距離に設定した場合の現在の処理液の透過率をT10、該紫外線モニタ装置設定時の処理液の透過率をT10’とした場合、下記の式を用いて現在の紫外線照射強度値I0を透過率で補正した紫外線照射強度値IORを求め、該紫外線照射強度値IORと前記紫外線照射強度値I0を比較することにより、 前記中圧紫外線ランプの劣化、前記紫外線モニタ装置の紫外線測定ヘッド又は保護管の汚染の少なくともいずれかを検出する検出手段を設けたことを特徴とする紫外線照射装置。 IOR=I0×T10’/T10
IPC (2件)：
B01J 19/12 ,  C02F 1/32
FI (2件)：
B01J19/12 C ,  C02F1/32
Fターム (18件)：
4D037AA01 ,  4D037AA11 ,  4D037AB01 ,  4D037AB03 ,  4D037BA18 ,  4D037BB01 ,  4D037BB02 ,  4G075AA13 ,  4G075AA15 ,  4G075AA62 ,  4G075AA65 ,  4G075BA04 ,  4G075BA05 ,  4G075CA33 ,  4G075DA04 ,  4G075DA18 ,  4G075EB31 ,  4G075FC04
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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