特許
J-GLOBAL ID：200903040556824204
吸着盤及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-287976
公開番号（公開出願番号）：特開平10-128634
出願日： 1996年10月30日
公開日（公表日）： 1998年05月19日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】優れた平坦精度を有するとともに、大きな吸引力が得られるマルチタイプの吸着盤を提供する。【解決手段】被吸着物を吸着保持する吸着面が、複数個の多孔質セラミックスからなる吸着部材21,22,23と、これら吸着部材同士を接合するガラス融着壁24,25とからなり、該ガラス融着壁の幅を0.5〜2.0mmとして吸着盤を形成する。
請求項（抜粋）：
被吸着物を吸着保持する吸着面が、複数個の多孔質セラミックスからなる吸着部材と、これら吸着部材同士を接合するガラス融着壁とからなり、該ガラス融着壁の幅が0.5〜2.0mmであることを特徴とする吸着盤。
IPC (8件)：
B23Q 3/08
, B25J 15/06
, B65G 49/06
, B65G 49/07
, C04B 37/00
, C04B 38/00 303
, H01L 21/027
, H01L 21/68
B23Q 3/08 A
, B25J 15/06 D
, B65G 49/06 A
, B65G 49/07 G
, C04B 37/00 Z
, C04B 38/00 303 Z
, H01L 21/68 P
, H01L 21/30 503 C
