特許

J-GLOBAL ID：200903040564199530

真空処理装置

発明者： 寿崎 健一
出願人/特許権者： 国際電気株式会社
代理人 (1件)： 守山 辰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-354015
公開番号（公開出願番号）：特開平9-189290
出願日： 1995年12月29日
公開日（公表日）： 1997年07月22日
要約：

【要約】【課題】 CVD装置の反応炉の真空吸引に用いる真空ポンプの交換をオペレータに依存することなく自動的に管理することができる真空処理装置を提供する【解決手段】 CVD装置の反応炉10の排気ポートに真空ポンプが介設された排気管11を接続するとともに、この排気管11に真空ポンプ22より上流側で不活性ガス導入管24を接続して該不活性ガス導入管24にバルブ開度を検出するセンサを内蔵したピエゾバルブ25を設け、このピエゾバルブ25のバルブ開度を調節して反応炉10内の真空度を制御する。そして、ピエゾバルブ25内蔵のセンサをコントローラ30に接続し、真空ポンプ22を新たに設置した使用開始時のピエゾバルブ25のバルブ開度を検出してコントローラ30のメモリに記憶し、また、後の真空ポンプ22運転時のピエゾバルブ25のバルブ開度を内蔵センサにより検出して記憶されたバルブ開度と比較し、この運転時のピエゾバルブ25のバルブ開度と記憶されたバルブ開度との差が所定値を超えている場合に真空ポンプ22の交換指令をディスプレイ31等に表示するように構成した。

請求項（抜粋）：

真空槽と、該真空槽内を排気する真空ポンプと、前記真空槽の圧力を制御する圧力制御バルブとを備えた真空処理装置において、前記圧力制御バルブのバルブ開度を検出するバルブ開度検出手段と、前記真空ポンプの使用開始時における前記圧力制御バルブの初期バルブ開度を記憶する記憶手段と、該記憶手段に記憶された初期バルブ開度と前記バルブ開度検出手段により検出されたバルブ開度とを比較して開度差が所定値を超える場合に真空ポンプ交換指令を出力する真空ポンプ交換時期判定手段と、を備えることを特徴とする真空処理装置。

IPC (3件)：

F04B 49/10 331 ,  B01J 3/03 ,  H01L 21/205

FI (3件)：

F04B 49/10 331 N ,  B01J 3/03 A ,  H01L 21/205

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-063540
  
• 流量精密制御ポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-011460   出願人：株式会社日立製作所
• 特開平2-063540