特許
J-GLOBAL ID：200903040587159438
スロット付き基板および形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
奥山 尚一
, 有原 幸一
, 松島 鉄男
, 河村 英文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-369822
公開番号（公開出願番号）：特開2004-148824
出願日： 2003年10月30日
公開日（公表日）： 2004年05月27日
要約：
【課題】 望ましい特性を有するスロット付き基板を提供すること。【解決手段】 本発明の流体供給スロットの形成方法は、第1の基板表面310の第1の領域510を露出するのに十分なハードマスク504を、第1の表面310の上にパターン形成することと、第1の表面310の第1の領域510の全部よりも少ない部分を貫通して、基板306にスロット部610を形成することであって、スロット部610は、第1の表面310において、第1の領域510の断面積よりも小さい断面積を有するように形成することと、スロット部610を形成することの後に、第1の領域510内から材料を除去して流体取扱スロット304を形成すべく、基板306をエッチングすることと、を含んでいる。【選択図】 図6
請求項（抜粋）：
第1および第2の互いに略対向する表面を有する基板と、
長軸に沿って前記基板内に延びるスロットとを含み、
該スロットは、少なくとも部分的に1つの側壁によって画定された前記長軸を横切る断面を有し、前記1つの側壁の少なくとも第1の部分は、前記第1の表面と略平行であり、前記1つの側壁の第2の部分は、前記第1の表面と略垂直である、
プリントヘッド。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B41J3/04 102Z
, B41J3/04 103H
2C056EA15
, 2C056FA03
, 2C056HA05
, 2C056HA16
, 2C057AF78
, 2C057AG12
, 2C057AP22
, 2C057AP23
, 2C057AP32
, 2C057AP53
, 2C057BA04
, 2C057BA13
