特許

J-GLOBAL ID：200903040604074956

顕微鏡装置、外観検査装置、半導体外観検査装置及び顕微鏡装置における試料照明方法

発明者： 黒沢 俊郎 ,  山崎 祥平 ,  宮▲崎▼ 陽子
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (5件)： 青木 篤 ,  鶴田 準一 ,  島田 哲郎 ,  小林 龍 ,  西山 雅也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-252664
公開番号（公開出願番号）：特開2006-071353
出願日： 2004年08月31日
公開日（公表日）： 2006年03月16日
要約：

【課題】 本発明は観察対象である試料を照明する照明手段と、この試料上のパターンの特定の空間周波数成分を除去する空間フィルタとを簡単な構成で実現する顕微鏡装置及びその照明方法を提供する。【解決手段】 顕微鏡装置の光源40を、対物レンズ3の瞳面8又はこの瞳面と共役な平面23上に設け、これらの面上にこの光源40を支持するための支持手段40を空間フィルタとして使用する。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

対物レンズの瞳面又は該瞳面と共役になる平面上に設けられ該対物レンズを介して試料を照明する光源と、該光源を支持するとともに前記対物レンズにより前記瞳面又は該瞳面と共役になる平面に投影される前記試料の像の所定部分を遮る支持手段と、を備えることを特徴とする顕微鏡装置。

IPC (4件)：

G01N 21/956 ,  G01B 11/30 ,  G02B 21/06 ,  H01L 21/66

FI (4件)：

G01N21/956 A ,  G01B11/30 A ,  G02B21/06 ,  H01L21/66 J

Fターム (47件)：

2F065AA49 ,  2F065CC20 ,  2F065FF04 ,  2F065FF42 ,  2F065FF49 ,  2F065GG06 ,  2F065GG07 ,  2F065GG14 ,  2F065GG15 ,  2F065GG17 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL21 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ33 ,  2G051AA51 ,  2G051AA56 ,  2G051AB02 ,  2G051AC30 ,  2G051BB03 ,  2G051BB05 ,  2G051BB07 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CB06 ,  2G051CC07 ,  2H052AC01 ,  2H052AC30 ,  2H052AC33 ,  2H052AD31 ,  2H052AF02 ,  4M106AA01 ,  4M106BA04 ,  4M106CA39 ,  4M106DB02 ,  4M106DB07 ,  4M106DB12 ,  4M106DB18 ,  4M106DB30

引用特許：

出願人引用 (1件)

• ウエハ欠陥検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-351965   出願人：株式会社東京精密