特許
J-GLOBAL ID:200903040614299280

プラズマエッチャーのエンドポイント検出装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴江 武彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-109682
公開番号(公開出願番号):特開平7-321094
出願日: 1994年05月24日
公開日(公表日): 1995年12月08日
要約:
【要約】【目的】本発明は、プラズマ発光領域の平面方向又は光軸方向の同一位置からの光束を受光してエンドポイント検出精度の改善を図ることを目的とする。【構成】チャンバ内で発生したプラズマ光を入射スリット41上に集束させると共に、該スリット41を通過した光を分光部材43で分光することによりエッチングによるガスのプラズマ発光スペクトルを取り出してエッチング終了時間を制御するプラズマエッチャーのエンドポイント検出装置であり、入射スリット41と分光部材43との間に光分岐部材42を配置して、入射スリット41通過後の光束を第1,第2の光電変換素子45,47に結像させるように構成したことを特徴としている。
請求項(抜粋):
プラズマエッチャーのチャンバ内で発生したプラズマ光を集光レンズで入射スリット上に集束させ、該入射スリットを通過した光を分光部材で分光することによりエッチングによる化学反応で発生したガスのプラズマ発光スペクトルを取り出し、その強度変化に基づいてエッチング終了時間を制御するプラズマエッチャーのエンドポイント検出装置において、前記入射スリットの後方に配置され、該入射スリットを通過したプラズマ光を少なくとも二方向に分岐する光分岐部材と、前記光分岐部材で分岐された一方向の光路中に配置される分光部材と、前記分光部材を介して特定波長に選択されたプラズマ光が集光される位置に配置されプラズマ発光スペクトルの強度に応じた信号を出力する第1の光電変換素子と、前記光分岐部材で前記一方以外へ分岐されたプラズマ光を集光する手段と、前記集光手段によりプラズマ光が集光される位置に配置されプラズマ光の強度に応じた信号を出力する第2の光電変換素子と、前記第1及び第2の光電変換素子の出力信号に基づいてエッチング終了時間を制御する制御手段とを具備したことを特徴とするプラズマエッチャーのエンドポイント検出装置。
IPC (2件):
H01L 21/3065 ,  C23F 4/00
引用特許:
審査官引用 (4件)
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