力学量センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：恩田博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-274529
公開番号（公開出願番号）：特開平6-123631
出願日： 1992年10月13日
公開日（公表日）： 1994年05月06日
要約：

【要約】【目的】新規な構造の力学量センサを提供することにある。【構成】基板1の凹部2の側壁から第1の梁3,4,5,6が延設され、その第1の梁3,4,5,6には中間支持体7が設けられている。この中間支持体7には第1の梁3,4,5,6にほぼ直交する方向に延びる第2の梁8,9,10,11が延設され、第2の梁8,9,10,11には錘12が設けられている。そして、対向電極17,19及び対向電極18,20を励振用電極とするとともに対向電極13,15及び対向電極14,16を角速度検出用電極とし、角速度の印加に伴う錘12の動きが検出される。

請求項（抜粋）：

固定部に対し第1の梁を延設し、その第1の梁に可動する中間支持体を設け、この中間支持体に前記第1の梁にほぼ直交する方向に延びる第2の梁を延設し、同第2の梁に錘を設け、力学量に伴う同錘の動きを検出するようにしたことを特徴とする力学量センサ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

引用特許：

審査官引用 (10件)

特開平4-169856
特開平4-232875
特開昭62-232171

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