特許
J-GLOBAL ID：200903040710061324

ペロブスカイト型酸化物積層膜及びその製造方法

発明者：
高橋 義広

高橋 義広 について

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座間 秀昭

座間 秀昭 について

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森下 忠隆

森下 忠隆 について

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田辺 圭一

田辺 圭一 について


出願人/特許権者：
シャープ株式会社

シャープ株式会社 について

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財団法人国際超電導産業技術研究センター

財団法人国際超電導産業技術研究センター について


代理人 (1件)： 野河 信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-260777
公開番号（公開出願番号）：特開2002-076457
出願日： 2000年08月30日
公開日（公表日）： 2002年03月15日
要約：
【要約】【課題】 下層酸化膜のアルカリ土類金属元素と上層酸化膜の金属元素との接触による拡散反応を防止して、安定な界面、及び良好な積層構造を得ることができるペロブスカイト型酸化物積層膜及びその製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】 アルカリ土類金属元素と金属元素とを含むペロブスカイト型酸化膜の上に該ペロブスカイト型酸化膜と組成が異なるアルカリ土類金属元素と金属元素とを含むペロブスカイト型酸化膜が積層されてなり、下層のペロブスカイト型酸化膜と上層のペロブスカイト型酸化膜との間に、上層に含まれるアルカリ土類金属元素の酸化膜がバリア層として挿入されてなるペロブスカイト型酸化物積層膜。
請求項（抜粋）：
アルカリ土類金属元素と金属元素とを含むペロブスカイト型酸化膜の上に該ペロブスカイト型酸化膜と組成が異なるアルカリ土類金属元素と金属元素とを含むペロブスカイト型酸化膜が積層されてなり、下層のペロブスカイト型酸化膜と上層のペロブスカイト型酸化膜との間に、上層に含まれるアルカリ土類金属元素の酸化膜がバリア層として挿入されてなるペロブスカイト型酸化物積層膜。
IPC (9件)：
H01L 39/22 ZAA ,  C23C 16/30 ,  C23C 16/54 ,  H01L 27/105 ,  H01L 27/108 ,  H01L 21/8242 ,  H01L 37/02 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/24
FI (8件)：
H01L 39/22 ZAA D ,  C23C 16/30 ,  C23C 16/54 ,  H01L 37/02 ,  H01L 27/10 444 C ,  H01L 27/10 651 ,  H01L 41/18 101 Z ,  H01L 41/22 A
Fターム (27件)：
4K030AA11 ,  4K030AA14 ,  4K030AA16 ,  4K030BA42 ,  4K030BB01 ,  4K030BB12 ,  4K030CA05 ,  4K030EA03 ,  4K030JA06 ,  4K030KA24 ,  4K030LA03 ,  4K030LA05 ,  4M113AD67 ,  4M113AD68 ,  4M113BA04 ,  4M113BA11 ,  4M113BA18 ,  4M113BA21 ,  4M113CA34 ,  5F083FR01 ,  5F083GA27 ,  5F083JA13 ,  5F083JA56 ,  5F083JA60 ,  5F083PR21 ,  5F083PR22 ,  5F083PR23
引用特許：
審査官引用 (5件)
  • 特開平3-017000
  • 特開平3-120364
  • 特開平3-295282
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引用文献：
審査官引用 (2件)

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