特許

J-GLOBAL ID：200903040760511118

誘電体バリヤ放電ランプ

発明者： 松野 博光 ,  五十嵐 龍志 ,  平本 立躬 ,  笠木 邦雄
出願人/特許権者： ウシオ電機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-246098
公開番号（公開出願番号）：特開平7-078593
出願日： 1993年09月08日
公開日（公表日）： 1995年03月20日
要約：

【要約】【目的】 放電容器の形状の自由度が大きいという誘電体バリヤ放電ランプの利点を保った状態で、寿命特性が十分である高性能の誘電体バリヤ放電ランプを提供する。【構成】 放電容器に誘電体バリヤ放電によてエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填され、該エキシマ分子から放射される光を取り出す窓部材を有し、該放電容器の少なくとも一部は該誘電体バリヤ放電の誘電体であり、かつ、放電容器と誘電体バリヤ放電の誘電体とを兼ねている部分の誘電体の放電空間の反対側の表面に設けられた導電性薄膜からなる電極を含む誘電体バリヤ放電ランプにおいて、該導電性薄膜をおおって、化学的・機械的に保護するための部材を設ける。また、該誘電性薄膜を保護するための部材を、シリコンゴム、フッ素樹脂、酸化物、窒化物およびフッ化物の中から選ばれ少なくとも一種で構成すること、あるいは、該導電性薄膜をアルミニウムで構成し、かつ、該導電性薄膜を保護するための部材を導電性物質で構成する。

請求項（抜粋）：

放電容器に誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填され、該エキシマ分子から放射される光を取り出す窓部材を有し、該放電容器の少なくとも一部は該誘電体バリヤ放電の誘電体であり、かつ、放電容器と誘電体バリヤ放電の誘電体とを兼ねている部分の誘電体の放電空間の反対側の表面に設けられた導電性薄膜からなる電極を含む誘電体バリヤ放電ランプにおいて、該導電性薄膜を化学的・機械的に保護するための部材を設けたことを特徴とする誘電体バリヤ放電ランプ。

IPC (2件)：

H01J 61/04 ,  G21K 5/00

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開平2-007353
  
• 特開平4-129167
  
• 照射装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-093993   出願人：アセアブラウンボヴエリアクチエンゲゼルシヤフト
• 特開昭50-110902
  

審査官引用 (4件)

• 特開平2-007353
  
• 特開平4-129167
  
• 照射装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-093993   出願人：アセアブラウンボヴエリアクチエンゲゼルシヤフト
• 特開昭50-110902