特許
J-GLOBAL ID：200903040761253988

多層膜被覆部材

発明者：
島 順彦

島 順彦 について


出願人/特許権者：
日立ツール株式会社

日立ツール株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-115762
公開番号（公開出願番号）：特開2000-309864
出願日： 1999年04月23日
公開日（公表日）： 2000年11月07日
要約：
【要約】【目的】 物理蒸着法における酸化物被覆の密着性、靱性等の問題点等を解決し、酸素を含有する皮膜の密着性を著しく改善した被覆工具を提供する。【構成】 多層被覆部材の多層被覆の少なくとも1層は基体にパルスバイアスを印加して設け、多層被覆は2以上の第1の層と2以上の第2の層を交互に積層し、該第1の層は周期律表の4a、5a、6a族、及びAlの少なくとも1の元素の炭化物、窒化物、炭窒化物からなる群から選ばれる少なくとも1つから構成され、該第2層は周期律表の4a、5a、6a族、及びAlの少なくとも1の元素の酸化物、炭酸化物、酸窒化物、炭酸窒化物からなる群から選ばれる少なくとも1つから構成する。
請求項（抜粋）：
ハイス、超硬合金、サーメット等の超硬質合金とその上にイオンプレーティング法によって形成された多層被覆よりなる多層被覆部材であり、該多層被覆の少なくとも1層は基体にパルスバイアスを印加して設けられ、該多層被覆は2以上の第1の層と2以上の第2の層を交互に積層してなり、該第1の層は周期律表の4a、5a、6a族、及びAlの少なくとも1の元素の炭化物、窒化物、炭窒化物からなる群から選ばれる少なくとも1つから構成され、該第2層は周期律表の4a、5a、6a族、及びAlの少なくとも1の元素の酸化物、炭酸化物、酸窒化物、炭酸窒化物からなる群から選ばれる少なくとも1つから構成されることを特徴とする多層被覆部材。
IPC (4件)：
C23C 14/08 ,  C23C 14/06 ,  C23C 14/16 ,  B23B 27/14
FI (7件)：
C23C 14/08 K ,  C23C 14/06 A ,  C23C 14/06 B ,  C23C 14/06 H ,  C23C 14/06 M ,  C23C 14/16 B ,  B23B 27/14 A
Fターム (26件)：
3C046FF02 ,  3C046FF03 ,  3C046FF05 ,  3C046FF09 ,  3C046FF11 ,  3C046FF16 ,  3C046FF25 ,  4K029AA02 ,  4K029BA03 ,  4K029BA07 ,  4K029BA11 ,  4K029BA16 ,  4K029BA17 ,  4K029BA21 ,  4K029BA35 ,  4K029BA43 ,  4K029BA50 ,  4K029BA54 ,  4K029BA55 ,  4K029BA58 ,  4K029BB02 ,  4K029BC02 ,  4K029BC10 ,  4K029BD05 ,  4K029CA03 ,  4K029CA05
引用特許：
審査官引用 (12件)
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