特許

J-GLOBAL ID：200903040775269682

研削装置

発明者： 湯川 功 ,  台井 暁治 ,  松澤 稔
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (1件)： 佐々木 功 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-175788
公開番号（公開出願番号）：特開2000-006018
出願日： 1998年06月23日
公開日（公表日）： 2000年01月11日
要約：

【要約】【課題】 計測アームの計測値によって被加工物の厚さを計測できるようにした研削装置において、摩擦によって加熱された研削水が飛散した場合にも、厚さ計測用の計測アームに熱ひずみが生じないようにして被加工物の厚さを正確に計測できるようにする。【解決手段】 少なくとも、被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに対峙して配設され被加工物を研削する研削手段と、被加工物の厚さを計測する計測アームを含む厚さ計測手段と、研削水を供給する研削水供給手段とから構成される研削装置において、厚さ計測手段に、計測アームが被加工物に接触して厚さを計測する際に計測アームに研削水がかかるのを防止する防水カバーを配設する。

請求項（抜粋）：

少なくとも、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに対峙して配設され該被加工物を研削する研削手段と、該被加工物の厚さを計測する計測アームを含む厚さ計測手段と、研削水を供給する研削水供給手段とから構成される研削装置であって、該厚さ計測手段には、該計測アームが被加工物に接触して厚さを計測する際に、該計測アームに研削水がかかるのを防止する防水カバーが配設されている研削装置。

Fターム (5件)：

3C034AA08 ,  3C034AA13 ,  3C034BB91 ,  3C034CA02 ,  3C034DD20

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭63-256358
  
• 自動研削装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-195656   出願人：枚岡合金工具株式会社
• 特開昭63-256358