特許
J-GLOBAL ID：200903040817378606

板状被研削物の研削装置及び研削方法

発明者：
半田 貫士

半田 貫士 について

, 
真田 謙郎

真田 謙郎 について

, 
藤井 勝基

藤井 勝基 について


出願人/特許権者：
トーヨーエイテック株式会社

トーヨーエイテック株式会社 について


代理人 (10件)： 前田 弘 ,  小山 廣毅 ,  竹内 宏 ,  嶋田 高久 ,  竹内 祐二 ,  今江 克実 ,  藤田 篤史 ,  二宮 克也 ,  原田 智雄 ,  井関 勝守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-244837
公開番号（公開出願番号）：特開2007-054922
出願日： 2005年08月25日
公開日（公表日）： 2007年03月08日
要約：
【課題】簡単な構成で容易に板状被研削物を均一な厚さに研削する。【解決手段】研削砥石27がチャックテーブル10の回転中心X上に載るようにチャックテーブル10の回転中心Xと研削ホイール25の回転中心Yとをオフセットして配置する。第1のエアーベアリング13に1対のチャック側圧力ポートを設け、第2のエアーベアリング26に1対の砥石側圧力ポートを設ける。第1のエアーベアリング13のハウジング12は、ウェーハ9の研削砥石27に対する当たり面の傾斜角を調整可能に構成する。1対のチャック側圧力ポートと1対の砥石側圧力ポートとで検出した圧力差PAC、PBWに基づいて、第1のエアーベアリング13のハウジング12を傾斜させる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
第1のエアーベアリングに回転可能に支持され、板状被研削物を吸引保持するチャックテーブルと、 該板状被研削物を研削する円環状の研削砥石を有し、第2のエアーベアリングに回転可能に支持された研削ホイールとを備え、 上記研削砥石が上記チャックテーブルの回転中心上に載るように該チャックテーブルの回転中心と上記研削ホイールの回転中心とがオフセットして配置された研削装置であって、 上記第1のエアーベアリングは、少なくとも1対のチャック側圧力ポートを備え、 上記第2のエアーベアリングは、少なくとも1対の砥石側圧力ポートを備え、 上記第1のエアーベアリングのハウジングは、上記板状被研削物の研削砥石に対する当たり面の傾斜角を調整可能に構成され、 上記チャック側圧力ポートと上記砥石側圧力ポートとで検出した圧力差に基づいて、上記エアーベアリングのハウジングを傾斜させるように構成されていることを特徴とする研削装置。
IPC (7件)：
B24B 7/04 ,  B24B 41/047 ,  B24B 41/06 ,  B24B 49/16 ,  H01L 21/304 ,  F16C 32/06 ,  F16H 25/20
FI (7件)：
B24B7/04 A ,  B24B41/047 ,  B24B41/06 L ,  B24B49/16 ,  H01L21/304 631 ,  F16C32/06 C ,  F16H25/20 A
Fターム (27件)：
3C034AA07 ,  3C034BB01 ,  3C034BB21 ,  3C034BB71 ,  3C034CA16 ,  3C034CB08 ,  3C034DD15 ,  3C043BA03 ,  3C043BA14 ,  3C043CC04 ,  3C043DD02 ,  3C043DD05 ,  3J062AA21 ,  3J062AB22 ,  3J062AC07 ,  3J062BA40 ,  3J062CD22 ,  3J102AA02 ,  3J102BA03 ,  3J102BA19 ,  3J102CA03 ,  3J102CA32 ,  3J102EA02 ,  3J102EA06 ,  3J102EB02 ,  3J102EB16 ,  3J102GA07
引用特許：
出願人引用 (2件)

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