特許
J-GLOBAL ID：200903070814567994
研削装置及び研削方法
ウィッテンツェルナー・エルマー
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ウィッテンツェルナー・エルマー について
出願人/特許権者：
株式会社ディスコ
株式会社ディスコ について
代理人 (1件)： 佐々木 功 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-098985
公開番号（公開出願番号）：特開2000-288881
出願日： 1999年04月06日
公開日（公表日）： 2000年10月17日
要約：
【要約】【課題】 板状物を研削する場合において、研削焼けや割れがおこらないようにして所望の厚さでかつ高品質な板状物に仕上げる。【解決手段】 第一の研削手段によって板状物を研削する第一の研削工程と、該第一の研削工程によって該板状物に形成されたソーマークに対してクロスするようにソーマークが形成されるよう該板状物を研削する第二の研削工程とから構成される研削方法、及び、このような研削方法を可能とする研削装置を提供する。
請求項（抜粋）：
板状物を吸引保持し回転可能なチャックテーブルと、該板状物を研削する第一の研削砥石を備えた第一の研削ホイールを回転可能に支持する第一の研削手段と、該板状物を研削する第二の研削砥石を備えた第二の研削ホイールを回転可能に支持する第二の研削手段とから少なくとも構成される研削装置であって、該チャックテーブルの吸着面は、回転中心を頂点として極めて小さい勾配の傾斜面からなる円錐面に形成されており、該第一の研削砥石は、該板状物の中心から外周に向かう第一の円弧状ソーマークを形成するよう、該チャックテーブルの回転中心から外周に向かう傾斜面に平行になるよう位置付けられ、該第二の研削砥石は、該板状物に形成された第一の円弧状ソーマークに対して逆形状の第二の円弧状ソーマークが形成されるよう、該チャックテーブルの回転中心から外周に向かう傾斜面に平行になるよう位置付けられる研削装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (5件)：
引用特許：
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