研磨用保持材

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：辻本一義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-242243
公開番号（公開出願番号）：特開2002-052462
出願日： 2000年08月10日
公開日（公表日）： 2002年02月19日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】従来よりもシリコンウエハなどの外周部を好適に研磨することができる研磨用保持材を提供する。【解決手段】ウエハ保持材2と研磨機への貼着部材3と前記相互間に接着された介在部材4とを具備し、前記介在部材4の厚みによりウエハ保持材2の外周域が持ち上がるようにした。

請求項（抜粋）：

ウエハ保持材と研磨機への貼着部材と前記相互間に接着された介在部材とを具備し、前記介在部材の厚みによりウエハ保持材の外周域が持ち上がるようにしたことを特徴とする研磨用保持材。

IPC (2件)：

B24B 37/04 , H01L 21/304 622

FI (2件)：

B24B 37/04 J , H01L 21/304 622 L

Fターム (3件)：

3C058AB04 , 3C058CB01 , 3C058DA17

引用特許：

審査官引用 (1件)

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