特許

J-GLOBAL ID：200903040819869232

エネルギーフィルタ

発明者： 津野 勝重
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 阿部 龍吉 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-043585
公開番号（公開出願番号）：特開平10-241627
出願日： 1997年02月27日
公開日（公表日）： 1998年09月11日
要約：

【要約】【課題】 イソマティックな性質のよいフィルタを得る。【解決手段】 エネルギー分光結像を行うためのエネルギーフィルタにおいて、瞳面上の像の中心付近と周辺部のエネルギー値のずれを少なくするために、フィルタの出射側端面からスリット面Sまでの距離をL5 とし、瞳面からスリット面Sまでの距離をLLとしたとき、LL/L5 >2となるようにした。また、フィルタはオメガ型エネルギーフィルタであり、フィルタの軌道方向zと磁極面に平行な方向xを含むzx面の結像回数を3回、磁極面に垂直な方向yを含むzy面の結像回数を2回とし、偏向角Φを110°から120°の範囲とし、フィルタ後方のレンズ系を3段以上とし、LLが長い場合においても100倍以上の倍率を得るようにした。

請求項（抜粋）：

エネルギー分光結像を行うためのエネルギーフィルタにおいて、瞳面上の像の中心付近と周辺部のエネルギー値のずれを少なくするために、フィルタの出射側端面からスリット面までの距離をL5 とし、瞳面からスリット面までの距離をLLとしたとき、LL/L5 >2となるようにしたことを特徴とするエネルギーフィルタ。

IPC (3件)：

H01J 49/44 ,  H01J 37/05 ,  H01J 37/26

FI (3件)：

H01J 49/44 ,  H01J 37/05 ,  H01J 37/26

引用特許：

出願人引用 (2件)

• オメガ型エネルギーフィルタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-069413   出願人：日本電子株式会社
• 特開昭62-066553