特許
J-GLOBAL ID：200903040873390570
走査電子顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平木 道人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-327565
公開番号（公開出願番号）：特開平11-242941
出願日： 1992年10月20日
公開日（公表日）： 1999年09月07日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 対物レンズと試料との間に電子線に対する減速電界を発生させる構造の走査電子顕微鏡において、二次電子と反射電子との弁別検出を容易にする。【解決手段】 チャンネルプレート25には、その電位を任意に制御できるフィルタ電圧36が印加される。例えば、フィルタ電圧36を重畳電圧6(試料に印加する電圧)よりもさらに10ボルト程度の負電圧とすれば、チャンネルプレート25とメッシュ34の間には、二次信号に対する逆電界、すなわち二次信号を減速する減速電界が形成される。この結果、試料から放出された二次電子および反射電子のうち、エネルギの低い二次電子は前記減速電界で追い返され、エネルギの高い反射電子のみが減速電界を通過し、チャンネルプレート25により選択的に検出される。
請求項（抜粋）：
電子源と、該電子源から放出された一次電子線を試料に照射する電子光学手段と、前記一次電子線の試料への照射によって前記試料から発生した二次信号を検出するために、前記一次電子線を通過させる通過口を備えたチャンネルプレートを含む二次信号検出手段と、前記試料と前記二次信号検出手段との間に前記一次電子線を減速する減速電界を形成する手段と、前記チャンネルプレートと試料との間に、前記二次信号を減速する減速電界を生じさせる電極とを具備したことを特徴とする走査電子顕微鏡。
引用特許：
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