特許

J-GLOBAL ID：200903040943154870

レジスト除去用接着シ-ト類とレジスト除去方法

発明者： 木原 康夫 ,  橋本 浩一
出願人/特許権者： 日東電工株式会社
代理人 (1件)： 祢▲ぎ▼元 邦夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-125645
公開番号（公開出願番号）：特開平9-311469
出願日： 1996年05月21日
公開日（公表日）： 1997年12月02日
要約：

【要約】【課題】 物品上の不要となつたレジスト膜画像を光硬化型の接着シ-ト類を用いて剥離除去するにあたり、上記接着シ-ト類の製造中や保存中などでの光硬化反応の進行を抑制して、物品上からレジスト膜画像を安定して確実に除去することを目的とする。【解決手段】 フイルム基材上に光硬化型接着剤層を設け、かつ上記の接着剤層面に450nm以下の波長の光の透過率が2%以下である遮光性セパレ-タを貼り合わせたレジスト除去用接着シ-ト類を使用し、これをレジスト膜画像が存在する物品上にその遮光性セパレ-タを剥がして、貼り付け、この接着シ-ト類を光硬化させたのち、この接着シ-ト類とレジスト材とを一体に剥離して、物品上のレジスト材を除去する。

請求項（抜粋）：

フイルム基材上に光硬化型接着剤層が設けられてなり、かつ上記の接着剤層面に450nm以下の波長の光の透過率が2%以下である遮光性セパレ-タが貼り合わされてなるレジスト除去用接着シ-ト類。

IPC (6件)：

G03F 7/42 ,  C09J 7/02 JJU ,  C09J 7/02 JKF ,  C09J 7/02 JKS ,  C09J 7/02 JLE ,  H01L 21/027

FI (6件)：

G03F 7/42 ,  C09J 7/02 JJU ,  C09J 7/02 JKF ,  C09J 7/02 JKS ,  C09J 7/02 JLE ,  H01L 21/30 572 Z

引用特許：

審査官引用 (4件)

• レジスト除去方法および硬化型感圧接着シ-ト類
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-212176   出願人：日東電工株式会社, 株式会社日立製作所
• 特開平4-345015
  
• 架橋硬化性樹脂組成物積層体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-020398   出願人：三菱レイヨン株式会社
• 特開昭63-289823