特許

J-GLOBAL ID：200903040950862839

研磨パッドのドレッシング装置

発明者： 土肥 俊郎 ,  斉藤 隆穂
出願人/特許権者： 土肥 俊郎 ,  旭サナック株式会社
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-271127
公開番号（公開出願番号）：特開平11-104947
出願日： 1997年10月03日
公開日（公表日）： 1999年04月20日
要約：

【要約】【課題】高圧水を噴射するだけでは除去できない研磨パッドの内部に蓄積した研磨屑を十分に除去することができる研磨パッドのドレッシング装置を提供する。【解決手段】本発明は、高圧水を噴射するノズル40の周囲に、掻出部材であるブラシ62を設け、ノズル40からの高圧水によって研磨パッド10の表層に蓄積した研磨屑を除去し、ブラシ62によって研磨パッド10の内部に蓄積した研磨屑を掻き出して除去する。

請求項（抜粋）：

研磨装置の研磨パッドにノズルから高圧水を噴射して前記研磨パッドをドレッシングする研磨パッドのドレッシング装置において、前記ノズルの周囲には、該研磨パッド内部に蓄積した研磨屑を掻き出す掻出部材が取り付けられていることを特徴とする研磨パッドのドレッシング装置。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 研磨布のドレッシング装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-162835   出願人：三菱マテリアル株式会社, 三菱マテリアルシリコン株式会社
• 両面研磨機定盤の洗浄装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-187188   出願人：田中澄夫
• 特開平4-035871
  
• 特開平4-035871