特許
J-GLOBAL ID：200903088380265370

両面研磨機定盤の洗浄装置

発明者：
田中 澄夫

田中 澄夫 について


出願人/特許権者：
田中 澄夫

田中 澄夫 について


代理人 (1件)： 高橋 紘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-187188
公開番号（公開出願番号）：特開平7-009342
出願日： 1993年06月30日
公開日（公表日）： 1995年01月13日
要約：
【要約】【目的】 両面研磨機の定盤を取り外さずに、ノズル装置を上下の定盤の間に挿入して、高圧水をノズルから研磨面に向けて噴出することにより、定盤の溝から研磨屑や研磨材等を除去でき、洗浄作業を自動的に行い得るようにする。【構成】 両面研磨機1は、上下の定盤10、11の間に、被加工物を配置して、上下両面を研磨加工する装置として構成される。前記上下の定盤の間に、ノズル装置40を挿入し、ノズル装置を定盤の放射方向に往復移動させながら高圧水を噴射し、定盤の表面と溝の中に入り込んだ研磨屑や研磨材を除去する作業を行う。また、ノズル装置のノズルの周囲には、ブラシ部材58を配置して、水が周囲に飛散することを防止できる。前記ノズル装置を支持する洗浄装置20には、パイプ41を往復移動させるための駆動手段と、高圧水を供給するためのポンプ26等を配置し、洗浄作業を自動的に行うことができるようにする。
請求項（抜粋）：
上部定盤と下部定盤とを対向させて配置し、前記2つの定盤の対向する研磨面の間に被加工物を支持するキャリヤを配置し、前記2つの定盤を垂直軸を介して反対方向に回転させるとともに、被加工物を保持するキャリヤを公転させながら、被加工物の上下の面を平行に研磨する両面研磨機において、前記両面研磨機の上下の定盤の間にノズル装置を移動可能に配置し、前記ノズル装置の上下に配置するノズルから高圧の水を噴出させる機構を構成し、前記両面研磨機の定盤を回転させるとともに、ノズル装置を定盤に対してラジアル方向に往復移動させ、前記ノズルから噴出される高圧水により、定盤の溝に残留する研磨屑等を除去することを特徴とする両面研磨機定盤の洗浄装置。
IPC (3件)：
B24B 55/02 ,  B24B 37/04 ,  B24B 53/007
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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