特許
J-GLOBAL ID：200903040963085882
感光性樹脂組成物およびこれを用いた感光性ドライフィルム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
皿田 秀夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-211861
公開番号（公開出願番号）：特開平8-054734
出願日： 1994年08月12日
公開日（公表日）： 1996年02月27日
要約：
【要約】【目的】 均一な膜厚を形成することが可能であり、被処理体に対する密着性に優れ、実用性に優れたドライフィルムが形成でき、ドライフィルムとしたときにコールドフロー等の問題が起こらず長期の保存が可能であり、高感度で微細なパターンが形成可能であり、アルカリ現像性に優れ、耐サンドブラスト性に優れた感光性樹脂組成物を提供することにある。【構成】 少なくとも2個以上の(メタ)アクリロイル基を有し、酸価が20〜70mg/KOH、硬化後のガラス転移点が5°C以上95°C以下であるカルボキシ変性ウレタン(メタ)アクリレート化合物と、酸価が50〜250mg/KOHであるアルカリ可溶高分子化合物と、光重合開始剤と、を含有してなる感光性樹脂組成物。
請求項（抜粋）：
少なくとも2個以上の(メタ)アクリロイル基を有し、酸価が20〜70mg/KOH、硬化後のガラス転移点が5°C以上95°C以下であるカルボキシ変性ウレタン(メタ)アクリレート化合物と、酸価が50〜250mg/KOHであるアルカリ可溶高分子化合物と、光重合開始剤と、を含有してなる感光性樹脂組成物。
IPC (6件)：
G03F 7/027 513
, G03F 7/027 502
, B32B 27/30
, G03F 7/004 512
, G03F 7/028
, G03F 7/033
