基板洗浄装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：社本一夫 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-196683
公開番号（公開出願番号）：特開2001-070896
出願日： 2000年06月29日
公開日（公表日）： 2001年03月21日
要約：

【要約】【解決課題】ウエハをその軸線を中心に回転し、筒状表面を有するスクラブ洗浄部材を当該ウエハの被洗浄面に係合させることによりスクラブ研磨を行う洗浄装置では、ウエハの周縁部分にスクラブ洗浄部材を係合させることができないために、研磨剤等の微小粒子が周縁部分に残る虞があるため、これを解消する洗浄装置を提供する。【解決手段】筒状の洗浄部材を軸まわりで回転させながら、表面を基板Wの被洗浄面に擦り付けてスクラブ洗浄するスクラブ洗浄部材40a, 40bと、基板の周縁部Bに接触して該周縁部をスクラブ洗浄する周縁洗浄部材46が設けられていることを特徴とする。周縁洗浄部材は、スクラブ洗浄部材の少なくとも一方の端部に取り付けられており、スクラブ洗浄部材と一体に回転する基部48と、該基部に前記スクラブ洗浄部材の方向へ向けて植設されたブラシ部材54とを有する。

請求項（抜粋）：

筒状の洗浄部材を軸まわりで回転させながら、表面を基板の被洗浄面に擦り付けてスクラブ洗浄するスクラブ洗浄部材と、基板の周縁部に接触して該周縁部をスクラブ洗浄する周縁洗浄部材が設けられていることを特徴とする基板洗浄装置。

IPC (5件)：

B08B 1/04 , B08B 3/02 , B08B 7/04 , H01L 21/304 644 , H01L 21/304

FI (5件)：

B08B 1/04 , B08B 3/02 C , B08B 7/04 A , H01L 21/304 644 C , H01L 21/304 644 G

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭62-259447
ブラシ洗浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-083488 出願人：芝浦メカトロニクス株式会社
特開昭62-259447

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