特許

J-GLOBAL ID：200903040976761607

三次元形態計測方法

発明者： 野田 克敏 ,  神谷 純生
出願人/特許権者： トヨタ自動車株式会社
代理人 (1件)： 石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-270425
公開番号（公開出願番号）：特開平10-160693
出願日： 1997年09月17日
公開日（公表日）： 1998年06月19日
要約：

【要約】【課題】 セラミックス焼結体に代表される多相材料中の特定相(粒子、ボイド、クラック等)の形態を三次元的に計測する方法を提供する。【解決手段】 複数の相から成る多相材料中の特定相の形態を三次元計測する方法であって、上記多相材料を所定深さまで加工除去して一断面を平面として表出させた後、この平面の二次元観察像を形成する加工・観察サイクルを、深さ方向に順次繰り返し、複数の断面について得られた二次元観察像を上記繰り返し順に合成して三次元像を形成することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

複数の相から成る多相材料中の特定相の形態を三次元計測する方法であって、上記多相材料を所定深さまで加工除去して一断面を平面として表出させた後、この平面の二次元観察像を形成する加工・観察サイクルを、深さ方向に順次繰り返し、複数の断面について得られた二次元観察像を上記繰り返し順に合成して三次元像を形成することを特徴とする三次元形態計測方法。

IPC (4件)：

G01N 23/225 ,  H01J 37/31 ,  G01N 33/38 ,  H01L 21/3065

FI (4件)：

G01N 23/225 ,  H01J 37/31 ,  G01N 33/38 ,  H01L 21/302 D

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平2-216042
  
• 二次イオン質量分析方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-333056   出願人：日本電気株式会社