特許
J-GLOBAL ID:200903040991524743
変位測定器
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-276504
公開番号(公開出願番号):特開2000-088562
出願日: 1998年09月11日
公開日(公表日): 2000年03月31日
要約:
【要約】【課題】 機能および性能を柔軟に変えることができる【解決手段】カウンタ2を構成する検出器入力手段21n と、計数処理手段23m と、それぞれの前記検出器入力手段21n を計数処理手段23m へ入力するため分配手段22p とを有する。
請求項(抜粋):
n個の検出器入力手段と、m個の計数処理手段と、それぞれの前記検出器入力手段を前記のm個の計数処理手段へ入力するためのp個の分配手段を有し、n,m,pは正の整数であることを特徴とする変位測定器。
IPC (2件):
G01B 21/02
, G01D 5/245 102
FI (2件):
G01B 21/02 Z
, G01D 5/245 102 Z
Fターム (18件):
2F069AA02
, 2F069AA06
, 2F069AA46
, 2F069DD15
, 2F069DD30
, 2F069GG06
, 2F069GG58
, 2F069GG72
, 2F069HH14
, 2F069NN00
, 2F069NN08
, 2F069QQ02
, 2F069QQ05
, 2F069QQ12
, 2F077AA31
, 2F077AA39
, 2F077NN27
, 2F077TT71
引用特許:
審査官引用 (3件)
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特開平4-157316
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形状測定装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-189462
出願人:株式会社ニコン
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特開昭58-019503
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