特許

J-GLOBAL ID：200903041019710193

半導体露光装置

発明者： 大河内 浩幾 ,  鶯塚 和仁
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-135182
公開番号（公開出願番号）：特開平6-325995
出願日： 1993年05月14日
公開日（公表日）： 1994年11月25日
要約：

【要約】【目的】 クリーンルーム内への放熱を防止し、装置をコンパクト化し、入力装置からの発塵を防止し、および、チャンバとコンソールとの位置関係が一定となるようにする。【構成】 装置本体113,115の環境温度制御を行なう温調チャンバ101に、装置本体の制御を行うCPU106と、装置における所定の情報を表示するディスプレイ装置102と、装置本体において撮像手段114を介して得られる画像情報を表示する映像表示手段105と、装置に対し所定の入力を行うための入力手段103,104とを含むコンソール部を組み込む。

請求項（抜粋）：

装置本体の環境温度制御を行なう温調チャンバに、装置本体の制御を行うCPUと、装置における所定の情報を表示するディスプレイ装置と、装置本体において撮像手段を介して得られる画像情報を表示する映像表示手段と、装置に対し所定の入力を行うための入力手段とを含むコンソール部を組み込んだことを特徴とする半導体露光装置。

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-081129   出願人：株式会社トプコン