半導体歪み検出装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤成示 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-018143
公開番号（公開出願番号）：特開平10-185726
出願日： 1997年01月31日
公開日（公表日）： 1998年07月14日
要約：

【要約】【課題】静止状態におけるブリッジ回路の出力電圧について効率的かつ確実に零点補償を行うことができる零点補償回路を備える半導体歪み検出装置を提供する。【解決手段】一部に薄肉状の起歪み領域が形成されたシリコン基板上に起歪み領域の歪み量に応じて抵抗値が変化する歪みゲージR1〜R4により構成されるブリッジ回路を形成し、抵抗値を変化させることでオフセット電圧の零点補償を行う零点補償回路9を少なくとも1つの歪みゲージに付加した半導体歪み検出装置において、零点補償回路に含まれた固定記憶素子Mにより前記零点補償回路9の抵抗値を決定するようにした。

請求項（抜粋）：

一部に薄肉状の起歪み領域が形成されたシリコン基板と、該シリコン基板上にある起歪み領域の歪み量に応じて抵抗値が変化する歪みゲージにより構成されるブリッジ回路と、少なくとも1つの歪みゲージに付加され、抵抗値を変化させることでオフセット電圧の零点補償を行う零点補償回路とを有する半導体歪み検出装置において、前記零点補償回路に固定記憶素子を含み、該固定記憶素子により前記零点補償回路の抵抗値を決定するようにしたことを特徴とする半導体歪み検出装置。

IPC (3件)：

G01L 9/04 101 , G01L 1/18 , G01L 1/22

FI (3件)：

G01L 9/04 101 , G01L 1/18 , G01L 1/22 B

引用特許：

出願人引用 (3件)

ブリッジ型センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-034235 出願人：カシオ計算機株式会社
半導体圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-307918 出願人：株式会社フジクラ
半導体圧力センサ回路
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-051004 出願人：シャープ株式会社

審査官引用 (2件)

ブリッジ型センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-034235 出願人：カシオ計算機株式会社
半導体圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-307918 出願人：株式会社フジクラ

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