セラミックスヒータ及びその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉村暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-061167
公開番号（公開出願番号）：特開平7-272834
出願日： 1994年03月30日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：

【要約】【目的】内部に抵抗発熱体を埋設したセラミックスヒータにおいて、ヒータ加熱面を均一に加熱することを可能とし、また迅速なセラミックスヒータの冷却をすることによってセラミックスヒータを用いた真空処理装置等のダウンタイムを短縮し処理作業性を挙げることを目的とする。【構成】セラミックススヒータ基体1とセラミックスヒータ基体1に埋設した電気発熱抵抗体2とからなるセラミックスヒータにおいて、セラミックスヒータ基体内部でかつセラミックスヒータ基体の加熱面16と当該発熱抵抗体2との間に加熱面に沿って延びる流体を充填流した体流路4が設けられている。

請求項（抜粋）：

セラミックススヒータ基体とセラミックスヒータ基体に埋設した電気発熱抵抗体とからなるセラミックスヒータにおいて、セラミックスヒータ基体内部でかつセラミックスヒータ基体の加熱面と当該発熱抵抗体との間に加熱面に沿って伸びる流体通路が設けられ、該流体通路内に流体を充填することによって、セラミックスヒータ本体の加熱面の温度の制御を可能としたセラミックスヒータ。

引用特許：

審査官引用 (2件)

セラミックスヒーター
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-343272 出願人：日本碍子株式会社
特開平4-306583

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