特許
J-GLOBAL ID：200903041057016284
基板処理装置及びそれに用いる基板載置台
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大山 浩明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-244462
公開番号（公開出願番号）：特開2009-076689
出願日： 2007年09月20日
公開日（公表日）： 2009年04月09日
要約：
【課題】発熱体から処理室の底部に向かう赤外線(輻射熱)を隙間なく遮蔽することによって,処理室の底部が不必要に加熱されることを防止する。【解決手段】ウエハWを載置する載置台120と,そのウエハを加熱するために載置台の内部に設けたヒータエレメント124と,処理室102の底部128より起立し,小筒部202と大筒部204とこれらの間に介在する中間部206とを有する筒状部材から構成された支柱200と,小筒部の外側を囲むように設けられた外側熱遮蔽板220と,大筒部の内側を塞ぐように設けられた内側熱遮蔽板230とを設け,載置台から見た平面視において外側熱遮蔽板の内縁部と内側熱遮蔽板の外縁部とが全周に亘ってオーバーラップするようにこれらを配置した。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
処理室内に基板載置台を備え,この基板載置台に載置された基板に対して所定の処理を施す基板処理装置であって,
前記基板載置台は,
前記基板を載置する載置台と,
前記載置台の内部に設けられ,前記載置台に載置した前記基板を加熱する発熱体と,
前記処理室の底部より起立して前記載置台を支持し,小筒部とこの小筒部の外径よりも大きい内径の大筒部とこれらの間に介在する中間部とを有する筒状部材で構成された支柱と,
前記小筒部の外側を囲むように設けられ,前記発熱体からの熱を前記小筒部の外側で遮蔽する外側熱遮蔽板と,
前記大筒部の内側を塞ぐように設けられ,前記発熱体からの熱を前記大筒部の内側で遮蔽する内側熱遮蔽板と,を備え,
前記外側熱遮蔽板と前記内側熱遮蔽板は,前記載置台から見た平面視において前記外側熱遮蔽板の内縁部と前記内側熱遮蔽板の外縁部とが全周に亘ってオーバーラップするように配置したことを特徴とする基板処理装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/302 104H
, H01L21/02 Z
5F004BA20
, 5F004BB13
, 5F004BB18
, 5F004BB26
, 5F004BD01
, 5F004DB26
