特許
J-GLOBAL ID:200903049620641582
セラミックヒータユニット
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (7件):
三好 秀和
, 岩▲崎▼ 幸邦
, 栗原 彰
, 川又 澄雄
, 伊藤 正和
, 高橋 俊一
, 高松 俊雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-401966
公開番号(公開出願番号):特開2005-166830
出願日: 2003年12月01日
公開日(公表日): 2005年06月23日
要約:
【課題】 セラミックヒータユニットの純度と均熱性の向上を図る。【解決手段】 ヒータ(1)と、ヒータ(1)に通電してヒータ(1)を昇温させる電極(2)とを少なくとも備えるセラミックヒータユニット(20)であって、ヒータ(1)と電極(2)は各々炭化ケイ素を含む材料からなり、ヒータ(1)と電極(2)は炭化ケイ素を含む材料からなる接合材により一体に構成されていることを特徴とするセラミックヒータユニット(20)。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
ヒータと、前記ヒータに通電してヒータを昇温させる電極とを少なくとも備えるセラミックヒータユニットであって、
前記ヒータと前記電極は各々炭化ケイ素を含む材料からなり、
前記ヒータと前記電極は炭化ケイ素を含む材料からなる接合材により一体に構成されていることを特徴とするセラミックヒータユニット。
IPC (5件):
H01L21/02
, H01L21/205
, H05B3/03
, H05B3/14
, H05B3/74
FI (5件):
H01L21/02 Z
, H01L21/205
, H05B3/03
, H05B3/14 C
, H05B3/74
Fターム (12件):
3K092PP20
, 3K092QA05
, 3K092QB09
, 3K092QB32
, 3K092QC09
, 3K092QC18
, 3K092QC42
, 3K092QC58
, 3K092VV22
, 5F045BB02
, 5F045BB14
, 5F045EK09
引用特許:
出願人引用 (1件)
-
SiCヒータ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-202560
出願人:住友大阪セメント株式会社
審査官引用 (3件)
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サセプタ及びその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-103665
出願人:住友大阪セメント株式会社
-
セラミックヒータ及びその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-229215
出願人:日本特殊陶業株式会社
-
SiCヒータ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-202560
出願人:住友大阪セメント株式会社
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