特許
J-GLOBAL ID：200903041080572640
硬質炭素膜
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川瀬 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-262445
公開番号（公開出願番号）：特開平10-087396
出願日： 1996年09月10日
公開日（公表日）： 1998年04月07日
要約：
【要約】【課題】 硬度が高く、摩擦係数が低く、摺動特性に優れた硬質炭素膜を提供すること。【解決手段】 表面粗さがRmax500nm以下であって、100〜2000個の炭素原子を持つダイヤモンド構造クラスターと、100〜2000の炭素原子をもつグラファイト構造のクラスターが、0.3〜3の比で存在するような炭素膜。
請求項（抜粋）：
炭素、水素を主成分とし、表面粗さがRmax0.5μm以下であることを特徴とする硬質炭素膜。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C30B 29/04 A
, C23C 16/26
