エアロゾル表面処理

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋敬四郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-332860
公開番号（公開出願番号）：特開平8-298252
出願日： 1995年11月07日
公開日（公表日）： 1996年11月12日
要約：

【要約】除去対象の異物に対し少なくとも部分的に凍結した粒子の高速エアロゾルを向けて基板表面から異物を除去する技術。粒子、有機被膜(たとえば、硬くベーキングされたホトレジストやイオン注入されたホトレジスト)および金属被膜の除去に十分な高速度へ凍結粒子を加速する種々の技術についも述べられている。1実施例では、液滴が高速ガス流に同伴され、えられたガス/液体混合物を膨張ノズルに通し凍結粒子の高速エアロゾルをつくる。別の実施例では、凍結エアロゾル粒子は、たとえば音速あるいは超音速ガスジェットに同伴され、それから洗浄対象の表面に衝突させる。洗浄エアロゾルは真空室内あるいは直接手持ち式装置から基板へ噴出される。洗浄エアロゾルに基板を一様に接触させるために種々の走査設備についても述べられている。

請求項（抜粋）：

少なくとも部分的に凍結した粒子のエアロゾルを生成する工程と、前記少なくとも部分的に凍結した粒子のエアロゾルを同伴するためにエアロゾル粒子の凝固点以上の温度を有するガスの流れを供給する工程と、前記ガスに前記エアロゾル粒子を同伴させる工程と、前記ガスを少なくとも音速に加速する工程と、基板の表面から除去すべき異物に前記同伴エアロゾル粒子を配送する工程とを包含する、除去対象の異物に少なくとも部分的に凍結した粒子の高速エアロゾルを向かわせ、基板表面から異物を除去する方法。

引用特許：

審査官引用 (3件)

アルゴン又は窒素エーロゾルを用いる表面清浄方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-290011 出願人：エアー.プロダクツ.アンド.ケミカルス.インコーポレーテッド, インターナショナル.ビジネス.マシーンズ.コーポレイション
特開平3-008328
特開平3-008328

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