特許

J-GLOBAL ID：200903041113214000

水晶振動子の周波数分類方法及び分類装置

発明者： 高橋 和也
出願人/特許権者： 日本電波工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-044987
公開番号（公開出願番号）：特開2001-235497
出願日： 2000年02月22日
公開日（公表日）： 2001年08月31日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】水晶片の欠けや破損及び静電気による弊害を防止して周波数分類を確実とし、生産性を高めることのできる水晶振動子の周波数分類方法及び装置を提供する。【解決手段】ダイシングシートに水晶ウェハを固着して複数の水晶片に分割し、水晶片を吸着して該水晶片の振動周波数を測定し、振動周波数領域毎に分類する。多数の水晶片が並べられたダイシングシートをシート収納具から取り出すシート取出工程30と、前記ダイシングシートから前記水晶片を剥離状態にする剥離工程31と、前記ダイシングシートから水晶片を吸着して振動周波数を測定する周波数測定工程33と、周波数測定工程33からの周波数測定信号を受けて前記水晶片を周波数領域毎に分類する周波数分類工程34とを備えた構成とする。

請求項（抜粋）：

ダイシングシートに水晶ウェハを固着して該ダイシングシートに到達する切れ込みを設けて複数の水晶片に分割し、前記ダイシングシートから水晶片を吸着して該水晶片の振動周波数を測定し、前記水晶片を振動周波数領域毎に分類したことを特徴とする水晶振動子の周波数分類方法。

IPC (3件)：

G01R 31/00 ,  G01R 29/22 ,  H03H 3/02

FI (4件)：

G01R 31/00 ,  G01R 29/22 G ,  H03H 3/02 B ,  H03H 3/02 A

Fターム (8件)：

2G036AA06 ,  2G036AA27 ,  2G036BB22 ,  2G036CA01 ,  2G036CA05 ,  5J108CC04 ,  5J108MM08 ,  5J108MM11

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭5-067652
  
• 水晶振動子の製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-183535   出願人：株式会社明電舎
• 特開昭53-068593
  
• 特開昭59-126648