特許
J-GLOBAL ID:200903041135203320

セラミックガス分離モジュールの欠陥検査方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-305727
公開番号(公開出願番号):特開2001-120967
出願日: 1999年10月27日
公開日(公表日): 2001年05月08日
要約:
【要約】【課題】セラミックガス分離モジュールの欠陥を容易に、かつ正確に検査できるセラミックガス分離モジュールの欠陥検査方法を提供する。【解決手段】密閉された容器2内に2種類の特定ガスに対するガス透過係数比αを有するセラミックガス分離フィルタ3の収束体4を配設したセラミックガス分離モジュール1に対して、セラミックガス分離フィルタ3を100°C以上に加熱してセラミックガス分離フィルタ3の一方の表面に前記2種類の特定ガスを供給するとともに、セラミックガス分離フィルタ3を透過した前記2種類の特定ガスのガス透過係数比α1を前記ガス透過係数比αとを比較し、セラミックガス分離モジュール1の欠陥を検査する。
請求項(抜粋):
密閉された容器内に2種類の特定ガスに対するガス透過係数比αを有するセラミックガス分離フィルタの収束体を配設したセラミックガス分離モジュールに対して、前記セラミックガス分離フィルタを100°C以上に加熱して該セラミックガス分離フィルタの一方の表面に前記2種類の特定ガスを供給するとともに、前記セラミックガス分離フィルタを透過した前記2種類の特定ガスのガス透過係数比α1を前記ガス透過係数比αとを比較し、前記セラミックガス分離モジュールの欠陥を検査することを特徴とするセラミックガス分離モジュールの欠陥検査方法。
IPC (2件):
B01D 65/10 ,  B01D 71/02 500
FI (2件):
B01D 65/10 ,  B01D 71/02 500
Fターム (8件):
4D006GA41 ,  4D006KE16R ,  4D006LA03 ,  4D006LA06 ,  4D006MA02 ,  4D006MA31 ,  4D006MB04 ,  4D006MC03
引用特許:
審査官引用 (2件)

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