特許
J-GLOBAL ID：200903041141026511
判別方法及び処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金本 哲男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-230988
公開番号（公開出願番号）：特開2002-050557
出願日： 2000年07月31日
公開日（公表日）： 2002年02月15日
要約：
【要約】【課題】 ウェハの不良の発生を最小限に抑えるために,ウェハが熱板上に正確に載置されているか否かをより迅速かつ正確に判断する。【解決手段】 熱板63上にウェハWが載置された際に熱板温度が低下する現象を利用する。熱板63にその温度低下をモニタリングする温度センサ73を設ける。温度センサ73からの測定結果を受信する不良検出部77には,熱板温度の時間変化をグラフで現した場合の温度曲線と設定温度とで囲まれた範囲の面積,すなわち温度積算面積を算出し,その温度積算面積と予め設定しておいたしきい値とを比較する機能が備えられる。しきい値には,ウェハWが正確に載置された場合の温度積算面積から求められた標準偏差が使用される。不良検出部77は,熱板温度の低下が小さく,温度積算面積がしきい値を越えた場合にウェハWが正確に載置されていないと判断する。
請求項（抜粋）：
熱板を所定温度に設定し,その熱板上の所定の位置に基板を載置して加熱処理又は冷却処理するときに,前記基板が前記所定位置に正確に載置されているかどうかを判別する方法あって,前記熱板に基板を載置した後に,少なくとも熱板温度の変化する第1の時間から第2の時間までの熱板の温度を測定する工程と,その測定された時系列的に変化する温度曲線と,前記熱板の設定温度とで囲まれた範囲で定まる温度積算面積Iを算出する工程と,その算出された温度積算面積Iと,予め定めておいた温度積算面積のしきい値とを比較する工程とを有することを特徴とする,判別方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 21/00 D
, H01L 21/30 567
2F069AA03
, 2F069BB15
, 2F069CC07
, 2F069DD08
, 2F069DD25
, 2F069GG01
, 2F069GG16
, 2F069GG31
, 2F069GG52
, 2F069GG56
, 2F069GG74
, 2F069HH30
, 2F069JJ02
, 2F069JJ19
, 2F069KK08
, 2F069MM04
, 2F069MM17
, 2F069NN13
, 2F069NN25
, 2F069QQ05
, 5F046KA04
