特許
J-GLOBAL ID：200903041155636770
露光光学系
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-052523
公開番号（公開出願番号）：特開平10-242018
出願日： 1997年02月21日
公開日（公表日）： 1998年09月11日
要約：
【要約】【課題】 低コストかつ光路長が短いにもかかわらず、平行度の優れた露光光学系を提供すること。【解決手段】 光源10と、集光手段20と、2次光源作成手段30と、コリメーター40と、ミラー50から成る露光光学系において、光線Aのミラー50への入射角をθとし、光線Bと光線Aの平行誤差をφとしたとき、光線Bのミラー50への入射角がθ+φ/2となるようにミラー50を弾性変形させる。ただし、光線Aはミラー50へ入射する光軸上の主光線、光線Bはミラー50へ入射する光軸外を通る主光線である。
請求項（抜粋）：
光源10と、集光手段20と、2次光源作成手段30と、コリメーター40と、ミラー50から成る露光光学系において、光線Aのミラー50への入射角をθとし、光線Bと光線Aの平行誤差をφとしたとき、光線Bのミラー50への入射角がθ+φ/2となるようにミラー50を弾性変形させたことを特徴とする露光光学系。ただし、光線Aはミラー50へ入射する光軸上の主光線、光線Bはミラー50へ入射する光軸外を通る主光線である。
引用特許：
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