特許

J-GLOBAL ID：200903041208448955

毛細管チュービング

発明者： イェラン・ヨーハンソン ,  ハンス・ハーツ ,  ヤーコ・デ・グロート
出願人/特許権者： ジェテック・アクチエボラーグ
代理人 (3件)： 高木 千嘉 ,  結田 純次 ,  三輪 昭次
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-522893
公開番号（公開出願番号）：特表2005-534147
出願日： 2003年07月18日
公開日（公表日）： 2005年11月10日
要約：

X線または極端紫外光放射線を発生するための方法および装置が開示される。標的物質が、かなりの長さの可撓性の毛細管チュービングによって標的物質の容器から相互作用チャンバー内のジェット形成オリフィスに供給される。この場合、オリフィスは毛細管チュービングの一体的な一部分である。オリフィスを通じて標的物質を押し入れることにより形成されるジェットが、エネルギービームと相互作用させられることにより、所望の電磁放射線を放出する放射プラズマがつくられる。エネルギービームと相互作用してX線または極端紫外光放射線を発生するための標的物質のジェットを相互作用チャンバー内で形成する目的で、標的物質をその源泉からオリフィスに供給するための可撓性の毛細管チュービングを使用することも開示されている。

請求項（抜粋）：

(i)可撓性の毛細管チュービングを通じて入口端から出口端へと標的物質を押し入れ、相互作用チャンバー内で標的ジェットが形成されるようにこの標的物質を液体状態で相互作用チャンバー内へと毛細管チュービングから出し;そして (ii)少なくとも1つのエネルギービームを上記の標的ジェット上に向かわせ、エネルギービームが相互作用チャンバー内で標的ジェットと相互作用してX線または極端紫外光放射線を発生する 段階からなり、 標的物質を上記の出口端にあるオリフィスを通過して毛細管チュービングから出し、このオリフィスは毛細管チュービングの一体的な一部分である、X線または極端紫外光放射線を発生させる方法。

IPC (3件)：

H05G2/00 ,  G21K5/08 ,  H01L21/027

FI (3件)：

H05G1/00 K ,  G21K5/08 X ,  H01L21/30 531S

Fターム (5件)：

4C092AA06 ,  4C092AA15 ,  4C092BD17 ,  4C092BD18 ,  5F046GC03

引用特許：

審査官引用 (4件)

• X線発生方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-232038   出願人：科学技術振興事業団
• 半導体製造工程用のリソグラフィ光源を提供するためのシステムおよび方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2000-617700   出願人：アドヴァンスドエナジーシスティムズインク
• ミクロン及びサブミクロンの小滴の濃霧を生成する方法及びその装置、並びに特にリソグラフィのための極紫外線の生成への応用
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2001-531345   出願人：コミツサリアタレネルジーアトミーク
• X線またはEUV放射線発生方法および装置
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2002-515466   出願人：ジェテックアクチボラグ